垃圾焚燒廠的粉塵控制可以采用靜電分離、過濾、離心沉降及濕法洗滌等幾種形式。常見的設備有電除塵器、布袋除塵器、文丘里洗滌器等。文丘里除塵器的能耗高且存在后續的水處理問題，所以此處僅對靜電除塵器和布袋除塵器進行比較。
一、靜電除塵器
靜電除塵器內含有一系列交錯組合之電極及集塵板。帶有粒狀污染物的煙氣沿水平方向通過集塵區段，其中粒狀物受電場感應而帶負電，由于電場引力的影響，被漸漸移動至集塵板而收集之。采用振打方式在集塵板上產生震動以震落吸附在集塵板上的粒狀物，落入底部的飛灰收集入灰斗內。振打頻率可視操作狀況而調整，以維持良好的集塵效率。由于在振打過程中可能是附著于集塵板之粒狀物再次被氣體帶起，除塵器通常采用多電場方式，以提效率。
二、袋式除塵器
袋式除塵器可除去粒狀污染物及重金屬。袋式除塵器通常包含多組密閉集塵單元，其中包含多個由籠骨支撐的濾袋。煙氣由袋式除塵器下半部進入，然后由下向動，當含塵煙氣流經濾袋時，粒狀污染物被濾布過濾，并附著在濾布上。濾袋清灰方法通常有下列三種：反吹清灰法、搖動法及脈沖噴射法。下來的粉塵掉落至灰斗并被運走。在袋式除塵器的設計上，氣布比是非常重要的因素，對投資費用及去除效率有決定性的影響。
袋式除塵器的缺點是濾袋材質脆弱；對煙氣高溫、化學腐蝕、堵塞及破裂等問題甚為敏感。80年代后，各國致力于濾料技術，尤其是聚四氟乙烯薄膜濾料(PTEE)袋式除塵器上的應用，使袋式除塵器上述弊端得以改觀。薄膜式過濾袋利用薄膜表面，以均勻微細的孔徑，取代傳統的一次塵餅，去除粉塵的效率非常高。由于薄膜本身的低表面摩擦系數、疏水性及耐溫、抗化學特性，使過濾材料擁有的捕集效果。袋式除塵器目前已廣泛應用于新建的城市垃圾焚燒廠及老廠改造上。
隨著環保要求的日益嚴格，電除塵器不僅不能滿足脫除物(二惡英等)、重金屬的需要，同時也不能滿足粉塵排放的要求，所以，現在已基本不再采用電除塵器作為焚燒垃圾廠的粉塵處理裝置。GB18485-2001《生活垃圾焚燒污染控制標準》中明確規定生活垃圾焚燒爐除塵裝置采用布袋除塵器。
